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特色
- 無限遠補正
- 明視野觀察及雷射加工用
- 長工作距離
- 平場規格
- 已針對紫外光區(波長266 nm)及可見光區(一般觀察波長範圍)作補償設計；特別確保其在紫外光區的高穿透率
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規格
| 品名 | Code No. |
數值孔徑 |
工作距離 WD(mm) |
焦距 |
解析度 |
物鏡單體的 焦點深度 |
實視野(mm) |
重量 (g)
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| f266 | f550 | ø24接目 |
1/2型相機 (縱×橫)
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| M Plan UV | ||||||||||
| M Plan UV 10× | 378-844-15 | 0.25 | 20.0 | 20 | 20.3 | 1.1 | 4.4 | 2.4 | 0.48×0.64 | 310 |
| M Plan UV 20× | 378-837-8 | 0.37 | 15.0 | 10 | 10.4 | 0.7 | 2.0 | 1.2 | 0.24×0.32 | 370 |
| M Plan UV 50× | 378-838-8 | 0.41 | 12.0 | 4 | 4.2 | 0.7 | 1.6 | 0.48 | 0.10×0.13 | 400 |
| M Plan UV 80× | 378-839-5 | 0.55 | 10.0 | 2.5 | 2.9 | 0.5 | 0.9 | 0.3 | 0.06×0.08 | 380 |
● 搭配顯微鏡與YAG雷射使用，將光罩影像投射至被測物上時，光罩影像將會縮小f/200（本公司的筒鏡焦距f＝200 mm）倍，即f550＞f266，因此使用紫外光（波長266 nm）的加工面積會比使用可見光（波長550 nm）的光罩影像略小
● 上列規格欄中的解析度與物鏡單體的焦點深度為以基準波長（λ＝0.55 μm）算出之值
► 關於Mitutoyo物鏡的螺紋規格解說